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微型构件机械物理性能研究

作者： 蒋国钰
介绍：研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法；制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件；导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系；研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率，分别求弹性模量和残余内应力，并通过...展开
主题：微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量：4128篇 期刊文献：2596篇 学位论文：1495篇 图书：32篇 标准：5篇
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作者

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专题定制

材料填充微结构光纤光栅传感特性研究
钱立亮 张帅 钱祥忠 
温州大学 物理与电子信息工程学院 浙江 温州 325035
来源 详细信息
飞秒激光在6H SiC晶体表面制备纳米微结构
吴晓君 贾天卿 赵福利 黄敏 陈洪新 许宁生 徐至展 
中山大学光电材料与技术国家重点实验室  广州 510275东京大学物性物理研究所  千叶 277-8581 日本中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室  上海 201800
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