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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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专题定制

脉冲激光沉积ZnSe:Co_(x)纳米晶薄膜的微结构及光学性质研究
李树锋 王丽 高东文 
中国人民警察大学警务装备技术学院 河北廊坊065000北京工业大学理学部物理与光电工程系 北京100124
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《测试技术学报》征稿启事
《测试技术学报》编辑部 
不详 
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微结构和添加剂改善金属基复合材料摩擦进展
唐俊 林海波 熊邦英 杨慷 
四川轻化工大学机械工程学院 四川宜宾644000晨光高性能氟材料创新中心 四川自贡643000安阳工学院机械工程学院 河南安阳455000
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大应变切削中切削速度对纯铜纳米晶切屑微结构及性能的影响
吴春凌 聂斌 陈斌 
湖北工业大学机械工程学院 湖北武汉430000中交第二航务工程局有限公司 湖北武汉430048长大桥梁建设施工技术交通行业重点实验室 湖北武汉430000交通运输行业交通基础设施智能制造技术研发中心 湖北武汉430000
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医用生物陶瓷的功能性生物适配机制及应用
郑嘉乾 卢霄 鲁亚杰 王迎军 王臻 卢建熙 
华南理工大学国家人体组织功能重建工程技术研究中心 广州510006华南理工大学材料科学与工程学院 广州510641上海骨科生物材料技术创新中心 上海201114上海贝奥路生物材料有限公司 上海201114中国人民解放军空军军医大学西京医院 骨科西安710032
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基于微纳米纤维的多层次微结构设计制备及其传感应用
罗敬之 金育安 孔浩宇 李光勇 张明华 杜建科 
宁波大学机械工程与力学学院 智能结构与压电器件实验室宁波315211
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考虑微结构特征的陶瓷材料含损伤本构模型
刘慕皓 张先锋 谈梦婷 包阔 韩国庆 李逸 孙伟境 
南京理工大学机械工程学院 江苏南京210094北京机电工程总体设计部 北京100854
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发泡法制备钙长石隔热耐火材料的显微结构与性能研究
陈曦 
武汉科技大学 
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铂基纳米材料的制备、微结构调控和电催化性能研究
滕雪爱 
北京科技大学 
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材料显微结构与电化学性能高通量数据处理技术研究
赵朝阳 
北京科技大学 
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