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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4 本周更新量:199
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主题

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机构

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  • 59 篇 山东大学
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  • 46 篇 武汉大学
  • 45 篇 兰州理工大学
  • 45 篇 武汉理工大学
  • 43 篇 兰州大学
  • 41 篇 华中科技大学
  • 40 篇 西安交通大学

作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
  • 14 篇 张泽
  • 12 篇 任淮辉
  • 12 篇 黄伯云
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  • 11 篇 顾明元
  • 11 篇 朱健民
  • 11 篇 李楠
  • 11 篇 郭景坤
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  • 9 篇 洪彦若
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  • 8 篇 孙加林
  • 8 篇 李亚伟
  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
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  • 5 篇 日文
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专题定制

基于微结构表面超材料的近场辐射传热研究
胡一知 
哈尔滨工业大学 
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基于双等离子源的离子束和纳米微结构相互作用平台的测试
谢一鸣 
兰州大学 
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钴氮掺杂碳基微结构的设计制备及其硫复合材料性能研究
刘英雪 
燕山大学 
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SiO2气凝胶微结构调控及其相变蓄热复合材料应用
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厦门大学 
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第六届材料微结构大赛评选结果
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陈嘉星 
广东工业大学 
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北京交通大学 
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石墨烯多孔材料显微结构调控及吸附性能研究
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郑州大学 
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热处理温度对钛铝酸钙-碳化硅复相材料性能及显微结构的影响
程勇 张寒 赵惠忠 纪子旭 杨兴宇 江雨航 李雪健 
武汉科技大学省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室 
来源 详细信息
氮化温度对直接氮化法制备氮化硅纤维材料显微结构的影响
赵鑫 王刚 韩建燊 张琪 
中钢集团洛阳耐火材料研究院有限公司先进耐火材料国家重点实验室 
来源 详细信息
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