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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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Rzeszow Univ Technol  Dept Mat Forming & Proc Al Powst Warszawy 8 PL-35959 Rzeszow PolandInst Power Engn  Ceram Dept CEREL Ul Tech 1 PL-36040 Boguchwala Poland
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A review on microstructural characterization of cement-based materials by AC impedance spectroscopy
Hu, Xiang Shi, Caijun Liu, Xiaojin Zhang, Jiake de Schutter, Geert 
Hunan Univ  Coll Civil Engn Key Lab Green & Adv Civil Engn Mat & Applicat Tec Changsha 410082 Hunan Peoples R ChinaUniv Ghent  Magnel Lab Concrete Res Dept Struct Engn B-9052 Ghent Belgium
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