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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4049 期刊文献:2571 学位论文:1442 图书:32 标准:4
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主题

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机构

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  • 45 篇 武汉理工大学
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作者

  • 23 篇 李旭东
  • 18 篇 李戈扬
  • 15 篇 钟香崇
  • 14 篇 张泽
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  • 12 篇 黄伯云
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  • 8 篇 李亚伟
  • 8 篇 李俊琛
  • 8 篇 张磊

语言

  • 3,263 篇 中文
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  • 121 篇 其他
  • 5 篇 日文
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专题定制

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朱钦 
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任永跃 
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单晶硅疏水表面微结构设计及其性能研究
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界面与硅微结构对硅负极材料中锂离子扩散影响的理论研究
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江西师范大学 
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PREDICTION OF DISTRIBUTION OF MICROSTRUCTURAL PARAMETERS IN METALLIC MATERIALS DESCRIBED BY DIFFERENTIAL EQUATIONS WITH RECRYSTALLIZATION TERM
Morkisz, Pawel Oprocha, Piotr Przybylowicz, Pawel Czyzewska, Natalia Kusiak, Jan Szeliga, Danuta Rauch, Lukasz Pietrzyk, Maciej 
AGH Univ Sci & Technol  Fac Appl Math Al Mickiewicza 30 PL-30059 Krakow PolandAGH Univ Sci & Technol  Fac Met Engn & Ind Comp Sci Al Mickiewicza 30 PL-30059 Krakow Poland
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CuxS、FeS2纳米材料的合成、微结构及电化学性能研究
王俞程 
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夏旭 
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弹丸冲击下材料微结构演化及绝热剪切特性
段占强 商艳 
来源 重庆大学图书馆图书 详细信息
基于非接触电阻率法的水泥基材料微结构及氯盐传输表征
何瑞 
浙江大学 
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