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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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作者

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郝燕霞 钱猛 徐吉健 毕辉 黄富强 
中国科学院上海硅酸盐研究所 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室中国科学院光电转换材料重点实验室上海200050中国科学院大学 北京100049北京大学化工与分子工程学院 北京分子科学国家实验室稀土材料化学及应用国家重点实验室北京100871
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秦岩 付忠奎 刘灵珊 陈浩昌 宋九强 
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邵章朋 张正国 吕凯 马乘风 史成武 
合肥工业大学化学与化工学院 安徽合肥230009
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多孔材料
施利毅 
来源 重庆大学图书馆图书 详细信息
LA-CVI法制备C/SiC陶瓷基复合材料的微结构设计与性能调控
王晶 
西北工业大学 
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