关键词:
硬质薄膜
磁控溅射
微结构
力学性能
摩擦磨损性能
摘要:
硬质薄膜技术是刀具、工模具材料表面改性的重要手段。具有较高硬度和良好耐磨性能的氮化钽(TaN)薄膜是硬质薄膜材料的重要组成部分。然而,随着加工制造技术的发展,二元TaN薄膜已不能满足严苛的服役要求,为此,本文利用磁控溅射技术,通过添加W、C及Mg等元素以提升TaN薄膜的力学及摩擦磨损性能,主要研究结果如下:(1)TaWN薄膜:当W含量小于22.8 at.%时,薄膜两相共存,为fcc-(Ta,W)N+hcp-(Ta,W)N;随着薄膜中W含量的进一步升高,薄膜中出现了W2N相和W相,此时薄膜四相共存,为fcc-(Ta,W)N+hcp-(Ta,W)N+fcc-W2N+fcc-W。薄膜硬度随W含量升高先升高后降低,W含量为16.2 at.%的薄膜硬度最高,其最高值为32.2 GPa。薄膜硬度主要受相结构和固溶强化的影响。薄膜摩擦系数和磨损率均随W含量的升高逐渐下降。(2)TaCN薄膜:当C含量低于3.6 at.%时,TaCN薄膜相结构由fcc-Ta(C,N)和hcp-Ta(C,N)两相组成;当C含量高于3.6 at.%时,TaCN薄膜相结构由fcc-Ta(C,N)、hcp-Ta(C,N)、CNx和C组成,且随着C含量的增加,CNx和C相含量逐渐增加。随C含量的增加,TaCN薄膜的硬度、弹性模量、H/E和H3/E*2均呈先升高后降低的变化趋势,在C含量为12.3 at.%时,薄膜的硬度、弹性模量、H/E和H3/E*2最大,其最大值分别为33.1 GPa、358.1 GPa、0.092和0.221 GPa。随着C含量的增加,薄膜的室温摩擦系数和磨损率都先下降后上升。当C含量为12.3 at.%时,薄膜的摩擦系数和磨损率降到最低,为0.48和5.3×10-88 mm3N-1mm-1。随着摩擦环境温度的升高,薄膜的摩擦系数和磨损都逐渐增大,薄膜的摩擦磨损性能变差。(3)TaMgN薄膜:当Mg含量低于8.6 at.%时,TaMgN薄膜由fcc-(Ta,Mg)N和hcp-(Ta,Mg)N两相组成;当Mg含量大于8.6 at.%时,TaMgN薄膜由fcc-(Ta,Mg)N、hcp-(Ta,Mg)N和hcp-Mg三相组成。随着Mg含量的增加,TaMgN薄膜的硬度、弹性模量、H/E和H3/E*2都先增大后减小,当薄膜中Mg含量为8.6 at.%时薄膜的硬度、弹性模量、H/E和H3/E*2都达到最大值,分别为33 GPa、376 GPa、0.088和0.255 GPa。在室温下,薄膜的摩擦系数和磨损率均先下降后上升,Mg含量为8.6 at.%时取得最小值,分别为0.66和1.04×10-77 mm2/N。随着温度升高,薄膜的摩擦系数先增大后减小。当温度为400℃时,薄膜摩擦系数达到最大值,为0.86,而薄膜的磨损率逐渐增大,这主要与高温摩擦下生成的MgO,Ta2O5,TaO2氧化物有关。