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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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机构

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作者

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语言

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专题定制

基于PDMS微结构调控构筑的导电高分子复合材料及其应变敏感性能研究
魏向东 
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基于PbTiO3纳米片的单晶复合材料的制备、微结构与性能研究
沈烨婷 
浙江大学 
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锡掺杂对ZGGO:Cr3+纳米粒子的微结构及其长余辉发光性能的影响
宋婷 
东北师范大学 
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碳纳米结构宏观纤维、薄膜的微结构与性能关联研究
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纤维增强树脂基复合材料的微结构及隔热性能
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赵旗旗 
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张静 
西南科技大学 
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基于表面等离激元的硅基微结构材料红外光学特性研究
刘小翼 
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所) 
来源 详细信息
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