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关键词： 自动化技术   机械工程   应用研究  

摘要： 随着社会的快速发展,经济水平的有效提升,生产生活不断前进,自动化技术已经被广泛应用于各个领域的建设与发展中了。将自动化技术加入企业的生产中能够提升企业的生产效益,实现经济的快速发展。信息技术在现阶段的社会经济运行中不断推进,满足社会的需求实现企业经济的平稳运行还需要实施机械工程研究,将信息技术等加入机械工程的自动化制造中,提升产品质量的同时减轻工作人员工作压力,实现经济效益的平稳运行。这种自动化技术的研究与应用不仅可以加入工业制造与生产中,还可以实现农业产品质量的管理,带动各个行业的经济运行。但是由于自动化技术应用与研究的领域性对广泛,所以自动化技术提升的发展前景依旧广阔。本文主要是从自动化技术在机械工程的应用角度开展分析,实现机械工程的研究与发展,带动企业生产的快速推进。

关键词： 机械制造   中芯国际   成套工艺   缺陷控制   平坦化   机械工程学科   超精密抛光   国际先进水平  

摘要： 在精密与超精密加工领域,清华大学路新春等建立了大尺寸表面纳米级平坦化的加工原理与方法,发明了系列大尺寸超薄硅片纳米级无损伤抛光关键技术,研制开发出12英寸“干进干出”化学机械抛光(CMP)装备与成套工艺,实现了IC制造大尺寸晶圆表面的纳米级平坦化及纳米级缺陷控制。整体技术达到国际先进水平,已在中芯国际等企业实现批量应用,打破了国外高端微电子超精密抛光装备长期垄断的局面。