关键词:
柔性压阻传感器
聚二甲基硅氧烷
碳纳米管
石墨烯
压敏层
拓印法
摘要:
为了提高压阻传感器的传感性能,课题组开发了一种高灵敏度柔性压阻传感器。采用银粉、碳纳米管和石墨烯复合材料为导电材料,以聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)为基底,利用溶液法和拓印技术制备压敏层,又利用物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术在聚萘二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Naphthalate,PEN)薄膜上制备叉指电极,进而将压敏层和叉指电极进行组装,获得柔性压阻传感器。该传感器在多种压强条件下均表现出较快的响应速度、卓越的稳定性和出色的重复性,并且具备优良的柔韧性和耐用性;在静态和动态压强检测中均表现出卓越的性能,能够准确记录压强变化。该传感器在智能机器人技术等领域具有较大应用潜力。