关键词:
激光累积效应
光学薄膜
损伤特性
损伤阈值
损伤形貌
摘要:
在高功率激光系统中,光学薄膜元件是一个极为重要的部件。随着激光技术的不断发展,研究者对激光与薄膜之间的相互作用现象进行了大量的研究。薄膜吸收激光能量后在其表面和体内会引起多种复杂的物理、化学反应过程,其中激光累积效应是其中一个重要的研究领域。累积效应发生后,会导致薄膜损伤阈值降低,从而导致光学薄膜的损坏。因此,探究激光累积效应对光学薄膜损伤特性的影响尤为重要。基于此,本文从激光累积效应过程中的四个激光参数出发,进行了仿真计算和实验探究,讨论了抗激光损伤能力与累积效应影响因素之间的关系。
本文对激光诱导薄膜损伤进行了介绍,分析讨论了激光诱导损伤机理。由此提出本文研究重点激光累积效应,对累积效应的形成过程进行探究,从四个激光参数入手研究其对薄膜的损伤机理,为后续建立激光累积效应与薄膜损伤的模型提供理论基础。
从激光与薄膜相互作用理论出发,研究得到高能激光与Hf O2薄膜相互作用的损伤机制主要为热致损伤,因此本文建立了激光诱导薄膜损伤的热力场模型,通过有限元仿真,得到了Hf O2薄膜在激光累积效应作用下的温度场和热应力场分布。仿真结果表明:不同激光参数下的温度场和热应力场存在差异,但总体趋势相似。能量、脉宽和脉冲数的增大均会使薄膜中心烧蚀点的温度升高,热应力变大。脉宽10ns、能量增大到60m J时,薄膜温度为3010K;能量100m J、脉宽增大到10ns时,薄膜温度为4290K;能量40m J、脉宽10ns,脉冲数增大到两个时,薄膜温度为3700K,这时均达到Hf O2的熔点,材料受热开始熔化,并由于温度的变化产生热应力场,薄膜在累积效应作用下损伤变形。以激光烧蚀为中心,随着半径的增大,温度越来越低,变为室温。
在实验层面,采用电子束热蒸发法分别镀制了不同厚度的Hf O2、Si O2和Ti O2单层薄膜并对其进行厚度检测,使用自主研制的激光损伤阈值测试仪从能量、脉冲数和波长入手分别进行在激光累积效应下的光学薄膜损伤测试。研究发现:激光累积效应的作用会导致光学薄膜损伤阈值降低,损伤面积扩大,损伤程度加剧。损伤阈值与输出能量和脉冲数成反比,与波长成正比。1064nm波长下,Hf O2薄膜的损伤阈值最高,为3.7J/cm2;Ti O2薄膜的损伤阈值最低,为2.94J/cm2。随着输出能量和脉冲数的增大,薄膜元件损伤面积和深度均有不同程度的加大,抗损伤能力变差;532nm波长较与1064nm会使得薄膜材料更容易损伤,其损伤阈值更低。不同激光参数下不同材料的损伤形貌存在明显差异。