关键词:
光栅传感器
电子细分
细分误差
CORDIC算法
摘要:
光栅传感器是一种以莫尔条纹为基础的测量工具,因为其独特的优势已在精密测量领域得到了广泛应用。从几何光学原理出发,莫尔条纹的形成与光栅的相对运动密切相关,根据其运动关系可知,莫尔条纹的变化与栅距的变化相对应。然而,仅依靠栅距达不到高精密测量的要求,需要在考虑成本的情况下,尽可能地提高测量分辨率,同时,因为有直流、幅值、相位等误差的存在,光栅传感器的测量精度也会大受影响。因此,既需要减少光栅莫尔信号误差带来的影响,又离不开倍频光栅信号,即需要从多方面提高测量精度。本文的主要研究内容如下:
(1)本文以电子细分为主,分析对比了常见电子细分的方法及其优缺点,综合考量确定了利用构造绝对值三角函数的一次细分方案,实现了16倍细分,它为二次细分提供了区间判别标准。结合当下主流的构造正余切函数及构造近似三角函数等线性化细分方法,通过对比分析,提出了构造新型正切函数进行二次细分的方法,它是在一次细分基础上进行的高倍细分,并通过编程仿真验证了理论上的可能性。两次细分过程结合实现了1024倍细分,后续工作均是在前述工作的铺垫下完成。
(2)结合光栅传感器输出信号的特征,建立光栅莫尔信号误差数学模型,分析了误差存在对一次细分和二次细分的影响。单独分析只含直流、只含幅值、只含相位等误差对二次细分的影响,说明光栅莫尔信号误差补偿的必要性,该信号实时误差的补偿根据之前一个或多个周期信号检测到的误差对当前信号误差进行补偿,校正信号的直流分量及幅值误差,使信号初步映射到-1~1。在前人研究的基础上,改进利用传统的CORDIC算法求取相位值的过程,不像之前一样根据任意一路信号求反正弦值或反余弦值,而是采用新的二次迭代CORDIC算法,根据每一路采集到的信号,通过反正切间接求得反正弦值或反余弦值,从而补偿相位。经过仿真验证,信号补偿后的细分误差稳定在1个细分当量内,说明了光栅信号细分及实时误差补偿算法的有效性。
(3)针对前述理论支撑,设计信号采样与传输程序,与设计的光栅信号采集与处理界面化系统完成交互工作。准备所需器材,搭建实验平台,通过实验分别验证信号中只含直流及幅值、只含相位、含综合误差等情况下的补偿及细分情况。经过对数据的处理,采用波形图直观反映实验结果,实验表明实现了一个周期光栅信号的1024倍细分,并且补偿后的光栅信号细分误差稳定在1个细分当量内,与仿真结果一致。