关键词:
星间激光通信
光学薄膜
分光镜
光谱
面型修正
残余应力
摘要:
随着星间激光通信系统的飞速发展,对数据信号传输的精度要求愈来愈高,要求信号的发射和接收系统更精准,因此对通信系统中的核心元件提出更高的光谱与面型精度要求。本文针对星间激光通信系统中的分光镜进行研制,实现了宽角度单波长光谱高透射,临近单波长光谱高反射的光谱特性,攻克了厚膜产生的薄膜残余应力导致分光镜面型变差的难题,具体研究内容如下。
基于薄膜设计理论,选取Ta2O5与Si O2作为高低折射率膜层材料进行膜系设计,在石英基底前后表面分别研制分光膜与增透膜,实现分光镜的分光要求。采用电子束离子辅助沉积技术,针对不同的膜系结构选择不同膜厚监控方法,并通过实验优化沉积工艺参数,对测试结果进行反演分析,逐步修正膜厚误差,解决了光谱偏差问题。
由于基底两面的膜厚差在23μm,膜层的残余应力导致分光镜面型精度变差,结合膜系设计与光学元件面型修正理论,在不影响光谱的前提下,通过在分光镜后表面补偿单层Si O2利用其应力修正分光膜的面型。首先基于Stoney公式建立面型修正模型,通过实验计算模型参数,然后计算出所需补偿的Si O2厚度,结合修正结果与理论进行对比,分析修正误差来源并引入误差因子,最终将面型修正误差控制在3%以内。经光谱检测,分光镜在入射角度为21.5°~23.5°范围内,1540.53nm透过率大于98%,1563nm反射率大于99%。经激光干涉仪检测,分光镜反射面型精度RMS由λ/10修正至λ/100(λ=632.8nm),透射面型精度RMS为λ/100。经检测,分光镜表面光洁度达到Ⅲ级,并且能够通过牢固度测试,满足系统使用要求。