关键词:
光波导
铌酸锂
电光效应
长周期波导光栅
定向耦合器
摘要:
随着光通信与光信息处理技术快速发展,电子商务、电子政务、云计算、高清视频和人工智能等各种应用应运而生,推动着人类文明快速进入了信息时代。这其中,作为构建光通信与光信息处理系统基石的光子器件,起着不可或缺的关键作用,它们推动着系统发展并决定着系统的性能。因此,研究开发各种高性能光子器件以推动光通信与光信息处理技术的不断进步从而满足信息社会持续增长的数据需求具有重要意义。世界各国,从政府到民间,都投入了大量的人力与物力研究开发各种高性能的光子器件。而将光栅这种重要的光学器件与光波导进行集成,开发应用于光通信与光信息处理系统的光栅型光子器件也吸引了广泛的关注,长周期波导光栅(LPWG)也应运而生。LPWG可用于实现波导芯模式间或波导芯模式与包层模式间的高效耦合,进而实现滤波、滤模、模式转换、调制、传感等功能,具有功能众多、结构紧凑、易于集成的优点。迄今为止,基于硅、聚合物、氮化硅、铌酸锂(LN)等材料平台已成功研发了多种LPWG型光子器件。在它们当中,基于LN平台的LPWG型光子器件倍受重视。这是因为LN具有较大的电光系数、宽的透明窗口、成熟的波导制作工艺,因而在实现光子器件的高速调谐方面具有独特的优势。光子器件的可调谐性是利用光子器件对光波参量进行调制的前提,是器件重构功能实现的基础,也是弥补器件制作工艺误差、降低制作工艺要求,进而提升器件性能的关键所在。可调谐性的实现通常依赖于电光效应与热光效应,而基于电光效应的电光调谐具有高速、低功耗的特点。本文即是在这一背景下开展基于LN平台的电光调谐LPWG型光子器件研究。论文的主要创新研究工作包括:1.基于传统LN晶圆研制了一种电光调谐的长周期光栅(LPG)辅助的光波导定向耦合器(DC)。器件采用退火质子交换工艺制作于x切LN基底,具有光波导制作工艺成熟、波导损耗低、易于与光纤耦合的优点。通过在宽波导侧壁制作LPG来补偿由不同宽度波导构成的非对称DC中两基模间的相位失配,该器件可实现两基模的高效耦合,进一步地,通过在波导两侧制作推挽电极便可实现低驱动电压的高速电光调谐。基于上述原理,研究了影响器件性能的波导与电极结构参数,完成了器件设计与数个实验室原型器件的制作,对其中性能最好的一个器件进行了封装,并对封装后的器件开展了电光调谐、热光调谐、小信号调制与直流漂移等性能测试。测试结果表明,该器件对输入的TE偏振光可在1532.9 nm波长处实现了一个对比度高达34.0 d B的阻带,并且在电光调谐过程中还会产生第二个阻带,两个阻带中心波长的电光调谐效率分别为1.20 nm/V(1526.4-1549.1 nm)和1.74 nm/V(1576.1-1602.2 nm),而热光调谐时只有一个调谐效率为-0.128 nm/℃(22℃-60℃)的阻带。2.基于新兴的绝缘体上铌酸锂薄膜(LNOI),研制了一种电光调谐的LPG辅助的ADC。器件的工作原理与上述基于传统LN的光栅辅助的ADC相同,但由于采用LNOI制作,因此具有结构紧凑、尺寸小、易于集成的优点。所制作的性能最好的实验室原型器件的光栅耦合区长度仅有816μm,对输入的TE偏振光可在1595.3 nm波长处实现了一个对比度为14.8 d B的阻带,在电光调谐时可在1594.5nm波长处实现20.7 d B的最大阻带对比度,电光调谐效率为0.38 nm/V(1595.3nm-1599.0 nm)、热光调谐效率为0.14 nm/℃(25℃-50℃)。最后,研究测试了器件的小信号调制和直流漂移特性。3.基于LNOI光波导研制了一种结构紧凑、尺寸小、易于集成的电光调谐LPWG。通过在LNOI脊形双模波导两侧制作非对称LPG实现双模波导中基模与一阶模的高效耦合,并利用锥形脊波导与金属吸收带滤除一阶模,该光栅的传输谱可实现较高的对比度。进一步地,通过在波导光栅上方制作调谐电极实现对基模与一阶模差异化的电光调制,进而实现传输谱的高效调谐。基于上述原理,研究了影响器件性能的波导与电极结构参数,完成了器件设计与数个实验室原型器件的制作。经测试,其中性能最好的一个器件的光栅长度仅为648μm,对TE偏振输入光,阻带对比度为16.32 d B,电光调谐效率为0.34 nm/V,热光调谐效率为-0.137 nm/℃。最后,同样地,测试了器件的小信号电光调制和直流漂移特性。以上研制的LPG辅助的传统LN光波导DC与LNOI光波导DC可以作为可调谐滤波器、滤模器、电光调制器等,应用于可重构波分复用、模分复用和电光调制等领域,而基于LNOI的LPWG则可用作可调谐滤波器或电光调制器。