关键词:
硅基光子学
亚波长光栅
相变材料
偏振调控
模式调控
摘要:
当下,以光作为信号传输载体的集成光子器件凭借着高集成度、低功耗、高速率、低串扰等特性,受到广泛关注。光波导中的偏振、模式等自由度,可以增加单一物理信道中数据容量,很好地满足当今大数据产业的发展需要。此外,相较于常规波导,亚波长光栅波导还可以提供更为灵活的折射率调控,大幅提升光波导器件的导模调控功能。因此,本文主要基于亚波长光栅结构,分析其模式特性,并对相应波导器件展开研究。首先,在2μm的中红外波段,我们利用硅-相变材料混合亚波长光栅实现了输出功率可动态调谐的偏振分束器;其次,针对高阶模式在亚波长光栅中损耗过大的问题,我们提出窄条辅助的亚波长光栅多模波导的概念,并利用该波导成功设计出基于双亚波长波导定向耦合器的模式转换器、模式复用器;最后,利用砖块亚波长光栅灵活的色散调节能力,分别设计偏振不敏感的定向耦合器和1×2的光分束器。具体如下:(1)为了实现输出功率可以动态调控的超宽带偏振分束器的目的,我们将耦合区域设计为硅-GeSbSeTe的混合亚波长光栅波导与slot波导的组合。亚波长光栅的结构为波导器件提供有效的色散控制,赋予超大光学带宽;光学相变材料则带来可调谐传输的功能。此外,级联于耦合区域后的弯曲定向耦合器可以滤掉残留TM串扰而进一步拓宽带宽。GeSbSeTe处于非晶态时,偏振分束器正常工作,其在200 nm(130 nm)的工作带宽内,TE(TM)的插入损耗小于0.24d B(0.56 d B),偏振消光比大于20.0 d B。GeSbSeTe切换至其他晶体状态时,该器件充当为一个能量吸收器,其能量衰减程度取决于相变材料所处的状态。另外,为使得该器件工作于2μm波段,波导厚度被设计为340 nm。(2)为了实现在亚波长光栅上高效地操控高阶模式的目的,我们提出了一种窄带辅助的亚波长光栅多模波导,该亚波长波导结构结合了亚波长光栅波导和条波导的特性,拥有着较好的色散调控能力,同时,可以有效地支持高阶模式。在此基础上,我们提出并设计了双亚波长波导定向耦合器类型的模式转换器,其耦合区域由砖块亚波长光栅波导和窄带辅助亚波长光栅多模波导组成,实现了TE-TE和TE-TE的模式转换。我们还设计了一个三通道的模式复用器(TE/TE/TE),其具有超大的工作带宽(136 nm/135 nm/100 nm),较低的插入损耗(0.29 d B/0.85 d B/0.62 d B),较低的串扰(-21.4 d B/20.4 d B/18.0 d B)。此外,窄带辅助的亚波长光栅多模波导具有很好的可拓展性,如TE-TE的模式转换,以及TE的高效传输。(3)为了解决硅基光波导器件所固有的偏振敏感的问题,我们利用砖块亚波长光栅波导更为灵活的色散调控能力,从两个不同的维度对波导折射率进行调控,设计了偏振不敏感的定向耦合器和1×2光分束器,使得它们对于TE偏振和TM偏振的耦合长度相等。对于偏振不敏感的定向耦合器,在1.55μm的波长处,TE偏振和TM偏振的归一化输出功率分别为0.935和0.933。对于偏振不敏感的1×2光分束器,在1.55μm的波长处,TE偏振(TM偏振)的插入损耗和分光比分别为0.47 d B和1.0002(0.48 d B和1.001)。在光波导器件的设计中,根据实际的功能需求,利用各种不同类型的亚波长光栅结构,可以对光波导中导模的偏振、模式以及波长等实现灵活的调控,继而设计出大带宽、低损耗、超紧凑的波导器件,这对于光互连、光传感、光通信等集成光子技术的发展有着十分积极的意义。