关键词:
原子力显微镜
光波导悬臂梁
波导光栅
灵敏度
单调响应
摘要:
随着原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)技术的应用逐渐广泛,AFM现已成为以原子分辨力表征材料的强大技术。然而目前的AFM系统由于各组成功能模块是分散的,导致系统稳定性相对较差,难以达到更高的灵敏度。此外,已有系统不容易实现多通道,更换样品时通常需重新调节和校准系统。因此,未来的AFM将朝着集成化、阵列化以及简单化方向发展。本研究将利用光波导传感技术集成度高、结构简单以及易于制造的优势,将光波导传感技术与纳米机械技术相结合,提出了原子力显微镜的硅光波导悬臂梁传感结构。该传感结构基于集成在一块芯片上的对接波导间耦合效率与彼此间错位的关系,利用输出波导捕获光功率变化,从而获取样品表面形貌信息,这种结构相比于传统AFM位移测量技术,可允许使用纳米级宽度的悬臂梁,大大缩小了探测结构的物理尺寸。因此,本文针对原子力显微镜传感结构进行了系统研究,具体内容如下:(1)研究了原子力显微镜的硅光波导悬臂梁传感结构的工作原理,并基于光学和力学原理,建立了理论仿真模型。之后,研究了悬臂梁厚度、波导间隙距离以及纳米探针尺寸对传感器耦合效率和光学灵敏度的影响,同时对器件机械性能随悬臂梁长度的变化趋势进行了探讨。最后,设计与优化了原子力显微镜的硅光波导悬臂梁传感结构,研究结果表明,该传感器可以在0.4m的探测范围内实现3.5×10nm的灵敏度以及0.24221fm/(?)的偏转噪声密度,并且可达到3的共振频率和0.2/m的弹簧常数。(2)研究了硅光波导悬臂梁传感结构耦合输入结构,设计了一种表面波导光栅耦合器,解决了光纤和波导间模式失配的问题,同时提高了硅光波导传感结构耦合效率。本研究采用了金属反射层方案,将透过波导-SiO层界面的光反射回波导中继续传播,从而提高了波导光栅耦合器的耦合效率。此外,研究对比了浅刻蚀和全刻蚀两种工艺的波导光栅结构在耦合性能和工艺难度上的特点,由于全刻蚀光栅结构的耦合效率与浅刻蚀结构相当,且制作工艺相对简单,最终选择了全刻蚀波导光栅耦合器作为原子力显微镜传感系统的输入结构。(3)研究了硅光波导悬臂梁传感结构耦合读出结构,设计了一种双层平面波导的读出结构,该结构在悬臂梁偏转方向上采用了两个输出波导来处理捕获的光功率,通过多点监测显著提高了传感器的灵敏度,并利用引入差分信号实现了对悬臂梁偏转的单调响应,此外,探讨了纳米探针和对接波导间隙距离对传感器单调响应性能的影响。研究结果表明,相较于传统读出结构,该读出结构表现出较好的性能优势。