关键词:
薄膜
光学薄膜
光散射
薄膜散射
双向反射分布函数
摘要:
为了降低金属高反射薄膜表面微粒污染物的光学散射,分析了金属铝膜表面不同厚度的SiO_(2)保护层薄膜上半径为100 nm的球状微粒污染物球心处的电场强度,取电场强度极小值点对应的SiO_(2)薄膜的物理厚度125 nm作为SiO_(2)薄膜的优化厚度,理论计算了当波长为632.8 nm的光束正入射时,镀有优化SiO_(2)保护层的铝膜表面的双向反射分布函数(BRDF)。研究结果显示,在-90°~90°散射角内,与不镀保护层相比,优化后膜层表面污染物的散射得到了显著降低,在反射光传输方向上,镀制保护层前后B_(R)×cosθ_(s)(B_(R)为双向反射分布函数,θ_(s)为散射角)分别为0.00855和0.00048。计算了原始膜系与优化膜系表面污染物的总散射损耗,分别为0.018609和6.09264×10^(-4),优化膜系使得表面微粒的总散射降低了96.73%。最后实验镀制了四种薄膜设计,测量了相同污染条件下四种膜系表面的污染物散射情况,证实了优化SiO_(2)薄膜保护层可降低微粒污染物散射。