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关键词： 光学设计   光刻机   精密定位   光栅干涉仪   位移测量  

摘要： 光栅干涉仪凭借高精度和高鲁棒性,成为先进节点光刻机中的重要定位装置。针对14 nm及以下节点光刻机晶圆台的定位需求,综述了多自由度纳米/亚纳米测量精度的零差式和外差式光栅干涉仪的发展,并介绍了“四光栅-四读数头”的光刻机六自由度位移测量系统布局。为了获得更高的精度和可溯源性,综合分析了光栅干涉仪中的环境误差、安装误差和仪器内在误差,并提出了光栅干涉仪实现亚纳米测量精度的关键问题,期望为光栅干涉仪精度提升和系统搭建提供初步指导。

关键词： 无损检测   光纤布拉格光栅   匹配光栅解调法   超声波   缺陷识别   波长信号解调  

摘要： 针对传统超声无损检测系统易受电磁干扰、使用场合受限等问题,在分析光纤布拉格光栅(FBG)基本传感原理和光纤布拉格光栅对超声波的传感特性的基础上,提出基于光纤布拉格光栅的超声无损检测系统。搭建了实验系统,利用信号发生器和功率放大器激励压电晶片产生超声波,并通过光纤布拉格光栅代替传统超声探头检测超声信号,采用结构简单、复用性好、检测效率高的透射式匹配光栅解调法实现光纤光栅波长信号的解调。对含有不同尺寸的狭缝缺陷的铝板试样进行检测,得到了超声波经过不同缺陷后的时域和频域信号,实验结果表明,该系统能够准确识别铝板中不同尺寸的缺陷,当铝板中有狭缝缺陷存在时,FBG探测到的超声信号的幅值会发生衰减,且缺陷尺寸越大,超声信号的幅值衰减越明显,验证了该系统的可行性。

关键词： 光纤光栅   F-P滤波器   光纤标准具   DDS   应变  

摘要： 针对某结构应力监测系统,提出应用光纤光栅传感原理来测量结构应力,设计了基于光纤标准具的F-P可调谐滤波器光纤光栅解调系统。利用标准具的稳定性来对F-P滤波器进行标定,消除环境温度对F-P滤波器的干扰。利用DDS原理设计了F-P滤波器的驱动源,产生的三角波分辨率可以小于0.42 mV,确保解调系统最终的分辨率达到1 pm。设计了光电转换电路,实现了微弱光信号的转换和放大,最后转换成易于采集与显示的电压信号。最终,利用本次设计的解调系统可以实现±3 000με的应变测量,测量精度可达到2.59%。

关键词： 光纤布拉格光栅传感器   双包层光纤   锂电池组   温度监控  

摘要： 锂离子电池是当今最通用的储能技术之一,锂电池的可靠性和安全性一直是业界追求的目标,因此准确监控电池安全状态显得尤为重要.锂电池内部的热失控是一切锂电池安全问题的根源,为克服目前锂电池组温度测量系统测温精度不高,较高温度下长时间工作稳定性不足等问题,本文提出了一种基于双包层光纤布拉格光栅(FBG)的准分布式锂电池组温度监测系统.通过搭建4通道16个双包层FBG点位对18650锂电池组进行温度场及鼓包形变监测,结果表明在0—450℃的温度条件下可以精确确定由短路等问题产生异常温度升高的点位,相应温度灵敏度为10 pm/℃,分辨率达0.1℃,并且贴于锂电池壳体表面的双包层FBG还可以监测电池壳体表面出现的鼓包形变现象,其纵向压力应变灵敏度达142 pm/N.本文的双包层FBG准分布式锂电池组温度场监测系统既可以保证高精度的温度、形变测量,同时具有良好的稳定性和抗干扰能力,表明本文的研究工作有望为锂电池组的安全监测和使用提供可靠的理论与实验依据.

关键词： 编辑MLC   剂量热点   乳腺癌根治术后   放疗   剂量学参数  

摘要： 目的:探究编辑多叶光栅(multi-leaf collimator,MLC)缩小剂量热点方法在乳腺癌根治术后放疗中应用的可行性。方法:选取10例接受放疗的乳腺癌根治术后患者的CT图像,勾画胸壁、腋窝与锁骨上下相关预防照射区域和危及器官,基于医科达Precise医用直线加速器和CMS XiO 4.80计划系统,以5000 cGy/25 f处方剂量分别对每例患者设计采用编辑MLC缩小剂量热点方法前、后2种放疗计划(plan1和plan2),采用SPSS 20.0统计学软件评估2种计划靶区和危及器官剂量学参数及治疗参数的差异。结果:2种计划靶区剂量分布和危及器官受照剂量均满足临床要求,plan2相对于plan1,PTV的D_(1 cc)降低1.87%(t=37.467,P=0.000)、D_(98%)降低0.38%(t=2.664,P=0.000)、V_(107%)降低7.30%(t=2.595,P=0.029)、V_(110%)降低23.58%(t=6.684,P=0.000),PTV的其它剂量学参数差异无统计学意义(P>0.05);危及器官剂量学参数和治疗参数差异无统计学意义(P>0.05)。结论:编辑MLC缩小剂量热点方法有利于缩小PTV的剂量热点,对其它参数的影响甚微,建议设计乳腺癌根治术后放疗计划时采用该方法。

关键词： 光纤光栅   数字化文物   文物保护   协同管理  

摘要： 近年来数字化文物智能保护系统成为文物保护的主要载体,原有系统由于原始文物数据获取精度较低,无法实现高精度数字化文物模型构建。针对此问题,设计基于光纤光栅传感的数字化文物智能保护系统。选择光纤光栅传感器作为文物测量工具,将其应用到系统硬件框架中,并对中央控制器与通信接口进行优化。根据文物数据采集要求,设定对传感器的反射率与透射率,完成文物数据采集。对采集到的数据进行分类与整合,实现文物数据信息管理。使用处理后的文物数据,构建文物三维模型,完成对文物的保护。至此,基于光纤光栅传感的数字化文物智能保护系统构建完成。系统测试结果表明,光纤光栅传感器在使用后,可有效提升文物智能保护系统的应用性能,为日后的文物智能保护提供平台。

关键词： 垂体腺瘤   磁共振扩散张量   磁共振成像   视觉通路   轴突变性  

摘要： 垂体腺瘤是鞍区常见病灶,起源于垂体前叶的细胞,局限于蝶鞍的并且直径≤10 mm者为微腺瘤,直径>10 mm者为大腺瘤。垂体腺瘤患者逐渐出现视野缺损和视力丧失,以双眼颞侧偏盲为主,是垂体性腺瘤向上生长,超过了蝶鞍,压迫其上方的视交叉的最重要的临床标志。普通磁共振成像虽然能观察病灶的形态、大小及其与周围软组织的关系,但无法检测出视路的功能变化和细小结构的改变。扩散张量成像(DTI)通过水分子在组织中的弥散各向异性,跟踪神经纤维的走向,重建整个视觉通路,判断其连续性和完整性,可作为检测视觉通路损伤的客观工具,结合MRI常规序列,对肿瘤术前定性、定位诊断,术中病灶切除范围,术后判断组织残留/复发等方面均有重要作用。本文对磁共振扩散张量对垂体腺瘤所致的视路损伤的相关性研究进展做一综述。

关键词： 交通数据   低秩张量补全   张量奇异值分解   阈值分解  

摘要： 由于探测器和通信设备的故障,交通数据的缺失是不可避免的,这种缺失给智能交通系统(ITS)带来了不利的影响。针对此问题,运用张量平均秩的概念,对张量核范数进行最小化,从而构建了新的低秩张量补全模型,并且在此基础上,基于张量奇异值分解(T-SVD)和阈值分解(TSVT)理论,分别使用坐标梯度下降法(CGD)和交替乘子法(ADMM)对模型进行求解,提出两个张量补全算法LRTC-CGD和LRTC-TSVT。在公开的真实时空交通数据集上进行实验。结果表明,LRTC-CGD和LRTC-TSVT算法在不同的缺失场景和缺失率条件下,补全精度要优于现行的其他补全算法,并且在数据极端缺失情况下(70%~80%),补全的效果更加稳定。

关键词： 性格内向   老师   早读   期末考试   学习成绩   讲台   做作业  

摘要： 小云:老师,您好!我是一名性格内向的女生,我在班里的学习成绩不太好,所以特别害怕老师叫我回答问题;每次做作业,我因为害怕做错都想抄同学的。有一天早读,老师让我到讲台上领读,我觉得我不行,结果我确实做得不好。马上要期末考试了,我特别焦虑,感觉自己肯定考不好。现在我常常觉得自己做任何事情都不行,特别失落。我该怎么办呢?

关键词： 教学设计   全反射   光纤技术   普适性   分组实验  

摘要： 通过设计三种不同介质的实验,来强化学生全反射现象产生条件的普适性观念;通过演示实验和分组实验的结合,来培养学生实验设计、合作交流的能力;通过教具演示和递进式讲解,来加强应用实例的直观性及其之间的关联性。