关键词:
硅基光集成芯片
光栅耦合器
耦合规律
粒子群算法
混沌优化
摘要:
在人工智能与5G飞速发展的时代,人们对数据处理的容量与速度均有越来越高的要求。在许多数据通讯领域,庞大的数据交换都需要用到光互连技术,而光互联的集成化一直是近年来的研究热点。硅光光集成芯片以其优越的性能受到广泛的关注与研究,硅光子集成工艺随之日益成熟,许多高性能的硅基器件亦应运而生。其中,能够实现芯片与光纤耦合功能的高性能器件十分重要,是体现光集成芯片商用价值的关键器件之一。光栅耦合器凭借易制作、灵活度高、对准容差大等优点,成为解决芯片与光纤之间耦合难题的最主要的解决方案。本文以光栅耦合器为研究重点,首先研究其光学特性,研究结果表明影响芯片与光纤耦合效率的主要因素是光栅结构参数及光纤对准误差;然后构建光学模型及耦合对准系统,对其耦合规律与耦合算法展开研究,具体工作如下:(1)基于布拉格衍射条件,分析光栅耦合器的工作原理,并构建光学模型,分析其光场传播特征;通过仿真分析光栅关键参数对衍射特性的影响,结果表明,刻蚀深度对光栅衍射强度影响显著,周期主要影响可发生的衍射级次;通过模场仿真,对比了单模光纤与光栅耦合器的差异,为后续的耦合仿真与实验奠定基础。(2)利用高斯光束与波导光栅耦合理论,对其耦合过程的抽象数学模型进行研究;建立光栅耦合器与单模光纤的耦合模型,对耦合规律进行分析;基于仿真数据,完成耦合对准系统总体设计,对耦合规律进行了实验验证,并分析了在应用场景中可能出现的各项误差损耗来源,为自动化晶圆测试提供可靠的参考。(3)基于自行研发的耦合对准系统,对单模光纤与光栅耦合器的耦合对准算法进行研究。根据耦合规律研究,对基于螺旋扫描法的粗对准算法提出优化策略;在精对准算法研究中,针对粒子群算法在搜索实验中存在的不足,提出了惯性权重参数自适应调整与混沌优化策略,并且对比选择了在小规模种群中亦能保持良好搜索性能的Tent映射模型,最后通过实验验证,改进后的算法搜索速度提高了1.5倍,成功率提高了10%,具有更佳的搜索性能与稳定性。图53幅,表10个,参考文献73篇。