关键词:
偏振片阵列
亚波长金属光栅
阵列结构设计
偏振器件性能测试
摘要:
基于像素式微偏振片阵列的偏振成像技术能够同时获得多个斯托克斯矢量信息,在生物传感、医学诊断、伪装识别等领域展现出了巨大潜力。然而,现有的像素式微偏振片阵列器件仍然存在透光率低,材料体系难以兼容半导体工艺,器件光学性能测试困难等问题,制约了微偏振阵列器件性能进一步提升。为此,本课题以像素式长波红外微偏振片阵列为研究对象,开展器件阵列结构及其性能,材料体系优化和光学性能测试系统的研究,旨在进一步提高长波红外偏振片阵列器件的性能,论文的主要研究内容包括:
微偏振阵列器件超像素中单元的排列方式对器件性能有着重要的影响。为此,基于斯托克斯理论,根据传统四方向型阵列结构,结合全通空白单元,组成6种不同的超像素排列结构,并通过理想透射率指标分析了6种结构的性能参数,为进一步仿真模拟实验提供模型。接着,通过分时成像模拟的方法,通过抽取不同偏振图像相应位置的像素值构造微偏振阵列的超像素,通过偏振图像融合方法合成不同模型的红外偏振成像图像,基于图像信噪比指标,对6种阵列模型的成像性能进行评估。
基于等效介质理论以及时域有限差分法,运用FDTD Solutions软件对6种不同结构的微偏振片最小周期单元进行建模分析。基于前期的研究成果,确定了光栅层的材料和结构参数。在基底材料的选择方面,基于透光率的性能指标,综合比较了硅、硫化锌、硅基镀硒化锌增透膜作为基底材料的器件性能,由此确定了铝-硒化锌-硅三层材料体系,使得微偏振阵列器件能够兼容半导体制造工艺。最后,通过比较不同相位偏振光对6种不同模型的透射情况,分析像素间串扰现象产生的原因并给出了评价指标,进而对不同阵列模型进行性能评价。
基于微偏振片阵列微结构单元在不同相位偏振光照射下图像灰度值会发生变化的原理,搭建了一套像素级的长波红外偏振器件测试系统。首先完成对光路系统的设计,包含光源、各部件的选型与控制系统搭建。然后根据成像理论研究,确定光路的放大倍数在16-35倍之间时,可以观测到较为清晰的阵列微结构,以提取阵列微结构单元灰度图像。进而根据灰度图像的归一化理论,对图像进行分割以及灰度值提取,以获取器件的性能指标。
最后,以不同器件的透射率指标作为研究对象,对本课题研究内容的正确性进行验证。实验结果表明,增透硅基底材料实际透射率测试结果与仿真结果相同,金属线栅透射率结果与商品参数相符,根据模型6结构制作出器件原型的不同点位透射率平均值56%,与仿真结果基本相同,初步验证本文研究内容的正确性。本课题的研究成果有助于设计新型排列组合的微偏振片阵列,从而改善阵列器件的性能,为进一步提高偏振成像精度奠定基础。