关键词:
等离子体共振
等离子体光栅
激光诱导周期表面结构
激光干涉光刻
湿法刻蚀
摘要:
当入射光沿金属表面的波矢和表面等离激元(SPP)波矢相等时会激发共振,引起特定波长或特定角度光波的吸收,局部电磁场会被大大增强,这种现象称为表面等离子体共振(SPR)。在过去的几十年里,SPR的这一特性在SPR传感器、表面增强拉曼散射(SERS)、表面增强荧光光谱(SPFS)及增强非线性等诸多领域有着重要应用。近年来随着纳米加工技术的快速发展,结构简单、成本低、易集成的小型化光栅耦合SPR(GCSPR)传感器受到广泛的关注。尽管目前有多种制造周期性微纳结构的方法,如电子束光刻(EBL)、聚焦离子束刻蚀(FIB)、纳米压印(NIL)、自组装等,但是它们存在成本高、耗时长、缺乏灵活性等局限性,如何大规模低成本地制备高质量等离子体光栅仍是一个挑战。相比其它传统加工方法,脉冲激光的发明为在样品表面制备周期结构提供了一种无掩膜、非真空和低成本的加工方法。本论文研究了两种基于脉冲激光,快速、低成本且形貌可控地制备高质量等离子体光栅的方法,并将所制备的纳米光栅应用于SPR折射率传感器中。本论文主要工作内容如下:(1)随着飞秒激光器的普及化,飞秒激光诱导周期表面结构(Laser-induce periodic surface structures,LIPSS)近年来成为微纳制造领域的研究热点。然而在一般的LIPSS中,微纳结构是由于材料被蒸发去除而产生的,因此会带来许多的表面碎屑和缺陷,极大影响条纹的质量。本文采用湿法刻蚀辅助的加工方法:在非消融状态下,飞秒激光以一定速度扫描硅表面,在几乎不去除任何材料的情况下诱导出交替的晶态-非晶条纹。然后基于两种晶态硅在KOH溶液中刻蚀速率有着显著差异的特点,刻蚀出均匀规则的亚波长周期纳米光栅。这可以极大减少碎屑和缺陷的产生,大大提升了纳米光栅的质量,并且其形貌可以通过刻蚀进一步调控。实验中在0.9 mm/s的样品扫描速度、0.115 W激光功率条件下,成功地制备出约3×6 mm大小的均匀纳米光栅。另外,还探究了激光偏振、脉冲能量、扫描速度和刻蚀时间对光栅形貌的影响。通过自搭建的一套SPR测量装置测量并分析该金属光栅的光学性能。结果显示该方法制备的金属光栅可以有效的激发SPR,其如灵敏度、品质因数及折射率分辨率分别为707.4 nm/RIU、13.37和5.3×10RIU。该制备方法简单快速,且通过刻蚀可以灵活的调制光栅形貌,这种形态可控的周期纳米结构在光通信、光传感器等领域具有广阔的应用前景。此外,等离子体纳米结构也常被用来增强非线性,因此本章还测量了金膜的增强倍频效应。(2)研究并改善了纳秒激光干涉光刻直写制备光栅的方法。首先分析了在烧蚀状态下不同能量和脉冲数量对制备纳米光栅深度的影响,并通过两次正交曝光制备了二维点阵结构。由于烧蚀原因,直写制备的光栅周期和深度范围有限,且形貌质量不佳。因此,本文在上述方法的基础上研究了结合化学处理的加工方法,制备了周期大于383.5 nm、深度在0-200 nm范围内可调的高均匀纳米光栅。原子力显微镜(AFM)表征显示,光栅质量得到了显著提升,形貌可控范围进一步增加。然后,使用自搭建的SPR装置测量其光学性能,该方法制备的金属光栅灵敏度为527.7 nm/RIU、品质因数为20.6、折射率分辨率达3.1×10RIU。本实验制备的周期纳米光栅性能接近商用DVD、CD等金属光栅。本论文提出的两种方法可以低成本、快速地制备形貌可控的高质量金属光栅,为优化小型化GCSPR传感器提供了有力的制备技术。本论文提出了一种低成本、高效地制造长程有序、高均匀周期表面结构的方法,可以广泛应用于光学器件和传感器等领域。