关键词:
菲涅尔波带片
飞秒激光
衍射特性
空间光调制器
方形波带片
环形波带片
摘要:
菲涅尔波带片是重要的衍射光学元件,在航空母舰光学助降、太空望远镜柔性透镜、电脑断层扫描、太阳能光伏等方面有广泛的应用,是强化国家战略科技力量、抢占科技制高点的核心所在。随着光、机、电系统一体化、集成化发展,菲涅尔波带片的特征尺寸已达到微米、纳米级。传统的微光学元件制备采用掩模光刻法,加工环节多,掩模板制作复杂。飞秒激光直写加工技术无需掩模板,且具有加工材料范围广、加工精度高、加工非热熔性等突出优势,成为了制作微型菲涅尔波带片的重要方法。在菲涅尔波带片的飞秒激光加工和衍射特性研究中,存在几个问题亟待解决:飞秒激光直写加工效率较低、表面质量有待提高,须优化加工工艺;光学系统对菲涅尔波带片衍射特性要求越来越高,衍射率、分辨率和焦深需要进一步提高;随着应用领域的扩展,传统圆形结构波带片已无法满足非圆周对称光束整形的应用需求,亟需研发新型波带结构。针对上述问题,本文开展了如下研究:(1)基于湿法腐蚀和空间光调制的方法,实现了飞秒激光加工表面质量和加工效率的提高。通过湿法腐蚀工艺,将微槽壁面和底部的突起物腐蚀掉,使粗糙度下降75.68%。当低于烧蚀阈值的飞秒激光辐照砷化镓时,辐照区产生氧化物,材料晶胞增大、晶向改变,腐蚀效率提高近10倍;利用空间光调制器对飞秒激光进行相位调制,消除零级光的影响,将激光光场的高斯分布调控为环形分布。调制后加工过程从单焦点串行加工优化为图案化加工,可实现单次曝光加工一个波带,使单波带片的加工时间从90分钟缩减到90秒,极大提高了加工效率。(2)优化了圆形菲涅尔波带片的衍射特性,实现了衍射率、焦深、分辨率的提升。基于物理光学模型对菲涅尔波带片建模,以仿真计算和实验加工的方法研究衍射特性优化规律。通过提高波带高度一致性、增加高宽比、消除改性区,使波带片衍射率从6.96%增加到8.4%;分割传统波带片设计了分形波带片,焦深从6 mm提高到10mm,有效提升了焦深,且未对分辨率造成负面影响;合并外圈波带设计了拓展波带片,焦点半径从12.6μm减小到8μm,不仅突破了加工最小线宽的限制,还有助于提高成像分辨率;此外,将圆形波带片应用到多模光纤,在纤芯端面制备出半径为52.5μm的微尺度透镜,使出射光发散角减小19%,可提高光耦合效率。形成了半径82.5μm、宽度11.82μm的聚焦环,可应用于高精度光镊粒子操作。(3)创新了菲涅尔波带片结构,实现了新的衍射特性。设计制备了环形结构波带片,聚焦后得到了中心没有亮斑的单环激光束和双环激光束,弥补了现有环形光束存在中心亮斑的缺陷。调节结构参数,可以灵活实现环形光束的半径和焦距调节;设计制备了多种方形波带片,对比研究了线性波带片、正方形波带片、正交波带片与圆形波带片衍射特性的异同,实现了线聚焦和十字聚焦。通过相位平移,实现了井字聚焦,还调整得到了任意长宽比的矩形衍射图样。非传统形状的激光束在光束整形、光学涡旋、阵列发生器等领域拥有广阔的应用前景。图122幅,表9个,参考文献193篇