关键词:
单壁碳纳米管
场效应晶体管
银液体
表面张力
器件
拉曼光谱
摘要:
单壁碳纳米管具有许多优异的物理特性,在电子器件领域有可观的应用前景。本文是关于新型悬空单壁碳纳米管器件及相关性能的研究。首先我们制备了悬空单壁碳纳米管场效应晶体管,并研究了其性能;其次我们提出了一种基于液态金属动态运动的技术来悬空碳纳米管,并测量了悬空碳管器件的输运特性;最后我们制备了悬空单壁碳纳米管的网状结构并研究了其拉曼光谱。论文有三个主题,如下所述:1.我们提出了一种有效的技术来制备超干净的单根悬空单壁碳纳米管晶体管。在高温热处理过程中,利用熔化银的表面张力在一对钯电极上使单根的碳纳米管悬空。这种方法避免了有机化学腐蚀物接触碳纳米管,使得碳纳米管器件十分干净。而且每微米悬空碳纳米管的电阻要比非悬空碳纳米管的电阻小,这证实了衬底对碳纳米的电学特性的影响。悬空半导体碳纳米管场效应晶体管的开态电阻为50 kΩ,迁移率为8,600 cm/(V·s),开关比高达10~5,这些性能显示了这种技术的优势和应用潜能。2.我们证明了一种有效、快速和圆片级制备悬空单壁碳管阵列的方法,这种方式是基于在高温热处理中液态银的运动来驱动碳管在预先加工好的钯电极上悬空及平行排布。起初,一定量的随机方向排布的碳管分散在钯电极上的银膜上,当热处理温度超过银膜的熔点时,银膜会熔化成液态并朝钯电极移动,同时在这过程中,碳管在钯电极间悬空,拉紧并平行排列。在最好的制备条件下,几乎所有碳管都悬空,且其接触电阻极低。我们还通过电学烧断的方法对金属性碳管的选择性刻蚀,制备了悬空单壁碳管阵列晶体管,展示了电子产业应用的潜力3.最后我们还通过调整钯金属的形状及排布,制备了悬空单壁碳纳米管网结构,其中碳管朝八个方向定向排布:上,下,左,右,右上,右下,左上,左下。然后我们对悬空碳纳米管网状结构进行了拉曼光谱的测量,发现悬空碳纳米管的G+峰的蓝移,证明了其轴向应力大约在0.13%。这种制备悬空碳管的新型技术可延伸到悬空二维材料器件的制备,为纳米电子器件的发展开拓了新的方向。