关键词:
激光图案化烧蚀
碳化硅
CVD金刚石
摩擦磨损
摘要:
金刚石涂层材料具有极低的摩擦系数和磨耗比,在摩擦、力学、热学等领域具有良好的应用前景。但是金刚石由于其超高的硬度难以机械加工,本身结构惰性导致与金属基体结合性能差,限制了其在摩擦抛光领域的应用。基于碳化硅易加工、与金刚石结合力好,热膨胀系数相近,因此,碳化硅(SiC)作为基体沉积金刚石后在抛磨领域更具应用前景,但目前相关方面研究较少,尤其对于织构化碳化硅基体对表面沉积金刚石结构及抛磨性能影响不明确。基于此,本论文通过激光图案化刻蚀技术,在碳化硅表面制备了不同形状、不同锥度的碳化硅阵列,之后利用微波等离子体设备沉积不同种类的金刚石涂层阵列,研究了不同形状、不同锥度、纳-微米金刚石涂层对金刚石/碳化硅阵列的微观结构、表面形貌和摩擦学性能的影响规律,分析了金刚石/碳化硅阵列摩擦磨损机理,从而得出以下结论:(1)通过对比有无微米金刚石涂层,对圆柱SiC阵列在不同载荷条件下(5 N,15 N,25 N)的摩擦学性的影响,发现微米金刚石涂层具备减小基体圆柱阵列脆性断裂、变形以及降低摩擦系数的特性,在最优载荷为15 N的条件下,金刚石涂层不发生剥落,具有最好的减摩特性,这与摩擦过程中金刚石向非晶碳转变以及对偶球表面形成的石墨相转移膜有关。(2)通过研究不同阵列形状对微米金刚石/碳化硅阵列的结构和摩擦磨损性能的影响,发现碳化硅阵列基体对涂层成分影响不明显,均为以(111)晶面为主的多晶金刚石,阵列顶端的非金刚石碳基团含量较小,底部为非金刚石碳基团与金刚石竞争生长。尖锥的微米金刚石/碳化硅阵列(圆锥、四角锥、六角锥)的摩擦系数明显高于顶端为平面的微米金刚石/碳化硅阵列(圆柱、四角柱、六角柱),其中六角锥的摩擦系数最高为0.48,磨损率最高,顶部金刚石发生剥落;圆柱的摩擦系数最低为0.13,磨损率最低,未发生剥落现象。平面与尖锥的摩擦磨损机理的差别归咎于接触面积减小导致的过大的尖端应力以及较深的犁沟,使得摩擦系数明显增加。(3)成功制备出不同锥度的碳化硅阵列,并研究了阵列的锥度对微米金刚石/碳化硅阵列的成分、结构以及摩擦磨损性能的影响。发现锥度对微米金刚石/碳化硅阵列的结构、成分没有明显的影响,但随着锥度的增加,摩擦系数先增大后减小,在锥度99.9°时摩擦系数最高为0.788,磨损率最大为10-5mm3/N·m量级,在锥度为92.3°时摩擦系数低于锥度在99.9°的条件下为0.488,但是磨损率保持在10-6mm3/N·m量级,涂层未发生失效。实现了阵列具备高摩擦系数的同时保持较低的磨损率。在最优锥度(92.3°)条件下,研究了不同形状(圆锥、四角锥以及六角锥)对金刚石/碳化硅阵列的影响,发现COF六角锥>COF圆锥>COF四角锥。这是由于不同形状的微米金刚石/碳化硅阵列犁入对偶球的体积量不同使得接触面积增大,影响了其摩擦磨损性能。(4)通过研究不同金刚石组成(微米、纳米以及纳-微米金刚石)对柱状、尖锥碳化硅阵列的结构和摩擦磨损性能的影响,发现随着金刚石涂层的类型由微米向纳米转变,(111)金刚石晶面峰强明显降低,且保持微米金刚石沉积时间一致时,随着纳米金刚石沉积时间增加,(111)金刚石晶面峰强升高,摩擦系数以及磨损率逐渐降低。纳-微米金刚石/圆柱碳化硅阵列的摩擦系数以及磨损率介于微米和纳米金刚石/圆柱碳化硅阵列之间,备微米金刚石与碳化硅之间较高的结合力和纳米金刚石的超高润滑性能。对于尖锥纳-微米阵列而言,随着纳米金刚石沉积时间的增加,摩擦系数以及磨损率逐渐降低,最优的高摩擦系数对应的纳米:微米金刚石沉积时间为1.5 h:6 h,这是由于纳米金刚石的存在使得高锥度的阵列在摩擦的过程中保持了力学稳定性能,但纳米金刚石、非金刚石相的存在使其尖锥的摩擦系数相较于尖锥单纯的微米金刚石摩擦系数偏低。