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柔性平板波压差微流量传感技术研究

作者: 蒋国钰
介绍:本项目以各种微流体分析系统广泛应用为研究背景,在前期工作的基础上,以提高微流体系统中流体流量检测的动态范围和灵敏度为目标,提出一种基于柔性平板波(LAMB波)压力测试原理的压差式微流量测试方法。结合压电学、波动力学、流体力学及结构优化设计技术对柔性平板波压差微流量传感技术的原理、方案进行研究,建立其动力学模型;以微细加工技术为基础,构造传感单元原理样...展开
主题:微流体分析系统 微流量计量 压差传感技术 柔性平板波 微流体系统 压力测试原理 流体环境 微流量标定方法
文献总量:761 期刊文献:530 学位论文:188 图书:18 标准:25 本周更新量:38
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MEMS和微流体分析系统的发展
蒋国钰
2016年09月01日
微机电系统(MEMS)是在微电子及微机械等学科基础上发展起来的新兴多学科交叉研究领域,是当今科学技术最具潜力的发展方向之一,而微型流体分析系统是这一研究领域中的热点.本文综述了MEMS技术以及作为MEMS技术一个重要研究方向的微型流体分析系统的起源及其广阔的市场应用前景,并对MEMS产品的市场化存在的问题进行了讨论.MEMS技术及微型流体分析系统的诞生必将对今后的化学、医学及生物学等领域的研究工作产生重大影响.
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