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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:4128 期刊文献:2596 学位论文:1495 图书:32 标准:5
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微型机械技术发展与应用
在当今世界,微型机械技术是一项集多专业、多学科汇聚交叉的新学科,其制造技术和理论方法都使传统的机械发生了翻天覆地的变化。微型机械拥有体积小、受外界影响小的特点,传统机械所不能够完成的任务,微型机械都能够不遗余力地完成并且损耗会非常小。
微型机械技术发展与应用(135KB)
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机械加工的超精密化和加工机械的微型化
微纳米加工技术是当前加工制造技术发展的前沿技术,在现代社会发展过程中,该类加工技术出现了很多研究方向,其主流发展方向就是机械加工的超精密化技术,在技术发展和利用过程中,机械加工的超精密化和加工机械的微型化要求越来越高,因此准确的把握技术,保证加工机械技术的顺利开展和实施,能够有效的促进现代加工制造技术的快速发展,将机械加工技术逐渐向着精密化和微型化不断取得进步。
机械加工的超精密化和加工机械的微型化(188KB)
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