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微纳制造

介绍:微纳制造技术是指制造纳米、微米量级的三维结构、器件和系统的技术。是关于微系统和纳米技术的统称。
主题:微纳技术 微纳加工
文献总量:80 期刊文献:44 学位论文:28 图书:8
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金*(组员)
金*
光电工程学院
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通院-*杨通贝
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20*44(组员)
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胡*成
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