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微纳制造
介绍：
微纳制造技术是指制造纳米、微米量级的三维结构、器件和系统的技术。是关于微系统和纳米技术的统称。
主题：
微纳技术
微纳加工
文献总量：
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文献类型：
全部
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语言：
全部
中文
发表时间：
全部
2008
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《微纳电子技术》
《半导体技术》 2008年 第10期33卷 898-898页
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