介绍：本项目以各种微流体分析系统广泛应用为研究背景，在前期工作的基础上，以提高微流体系统中流体流量检测的动态范围和灵敏度为目标，提出一种基于柔性平板波（LAMB波）压力测试原理的压差式微流量测试方法。结合压电学、波动力学、流体力学及结构优化设计技术对柔性平板波压差微流量传感技术的原理、方案进行研究，建立其动力学模型；以微细加工技术为基础，构造传感单元原理样...展开