介绍：研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法；制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件；导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系；研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率，分别求弹性模量和残余内应力，并通过...展开